DIY RF Coupling Plasma

Atomer består av en positivt ladet kjerne omgitt av en sky av negativt ladede elektroner. Noen ganger atomer kan vinne eller tape elektroner, noe som fører til dem å anskaffe en positiv eller negativ ladning. Et atom med en netto ladning er kjent som et ion. Plasma er en sky av ioner, og disse kan ha en rekke anvendelser i det halvledende prosessindustrien. Et plasma kan produseres inne i en argon-fylt vakuumkammeret ved hjelp av en strømforsyning som genererer radiofrekvens (RF) stråling.

Bruksanvisning

1 Slå på rotasjonspumpe og vente på at press for å få til 10 ^ -3 millibar. Slå på turbo pumpe, og vent til det å trappe opp. Vent inntil et trykk på ca. 10 ^ -6 millibar er nådd.

2 Koble en RF-kabel mellom RF matchende enhet og RF strømforsyning. Koble en annen kabel mellom RF matchende enhet, og RF vakuumkammeret elektrodekontakten.

3 Delvis stenge ventilen til turbopumpen. Slå på Argon masse kontrolleren, og satt et trykk på 15 millibar. Slå på RF-effektforsyningen og tilpasningsenhet. Sett en fremover effekt på 50 watt. Det tilsvarende enhet høres som den prøver å minimere den reflekterte RF-effekt. Når den reflekterte effekt er mindre enn en prosent av den fremadgående effekt, øker den fremadgående effekt på omtrent 150 watt. Plasma i kammeret skal lyse, og være synlig selv kammeret view-port. Sakte senke frem makten tilbake til 50 watt. RF par plasmaet er skapt.